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            PRODUCT

            產品中心

            黑龙江11选5走势图 ? 產品中心 ? PVD鍍膜設備 ? 磁控濺射鍍膜系統

            TRP-450型磁控濺射系統
            編號:SN20151013152824655
            類別:磁控濺射鍍膜系統
            • 產品概述
            • 規格參數
            • 服務支持

              設備用途

                  用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

               

              設備組成

                  系統主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶(三個靶)、單基片加熱臺、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機臺等部分組成。

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