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            PRODUCT

            產品中心

            黑龙江11选5走势图 ? 產品中心 ? LED襯底及窗口片設備 ? 碳化硅晶體生長爐

            碳化硅單晶爐系統TDL60P
            編號:SN20150801142150212
            類別:碳化硅晶體生長爐
            • 產品概述
            • 規格參數
            • 服務支持

              設備用途
              主要用于半導體和LED行業。采用中頻感應加熱方式,物理氣相傳輸法生長優質光學晶體。


              設備組成
              本系統采用單室立式雙層水冷不銹鋼結構黑龙江11选5走势图。由爐膛、真空獲得及測量系統、籽晶桿拉送系統、坩堝桿拉送系統、感應加熱系統、電控系統等組成。

              技術指標

              型號

              TDL60P

              爐內真空度

              極限真空

              6.6×10-5Pa

              系統抽速

              60分鐘內真空度<2×10-3Pa(短時間暴露大氣并充入干燥氮氣開始抽氣

              系統漏率

              停泵關機12小時后真空度≤10Pa

              爐體

              主爐膛

              尺寸Φ600×800 mm

              副爐膛

              尺寸Ф300×400mm

              轉速

              0~30rpm

              提拉速度連續可調范圍

              0.06~6㎜/h

              快提拉速度連續升降可調

              ≥50㎜/min

              有效行程

              390㎜

              坩堝傳動機構

              轉速

              0~30rpm

              升速范圍

              0.06~6㎜/h

              快提拉速度連續升降可調

              ≥50㎜/min

              有效行程

              560㎜

              額定總功率

              55KW

              循環水用量

              3m3/h

              真空配置

              分子泵、機械泵、插板閥

              占地面積

              主機

              1500×2500mm2

              電控柜

              700×700mm2(一個)

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