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            PRODUCT

            產品中心

            黑龙江11选5走势图 ? 產品中心 ? LED襯底及窗口片設備 ? 碳化硅晶體生長爐

            碳化硅單晶爐系統TDL85P
            編號:SN20150801141615675
            類別:碳化硅晶體生長爐
            • 產品概述
            • 規格參數
            • 服務支持

              設備用途
              主要用于半導體和LED行業。采用中頻感應加熱方式,物理氣相傳輸法生長優質光學晶體。


              設備組成
              本系統由沉積真空室、感應加熱臺系統、進樣室、自動送樣系統、氣路系統、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。

               

              技術指標

               

              型號 

              TDL85P 

              爐內真空度

              極限真空

              9.0×10-5Pa

              拉伸機構運動時

              1.0×10-4Pa

              系統漏率

              停泵關機24小時后真空度≤5Pa

              爐體

              沉積室

              筒形立式結構,尺寸Φ900×1000 mm

              進樣室

              尺寸Ф300×300mm

              自動送樣機構

              慢速檔速率范圍

              0.06~6㎜/h

              檔速率范圍

              ≥50㎜/min

              轉速范圍

              0~30rpm

              有效行程

              500㎜

              額定總功率

              35KW

              循環水用量

              3m3/h

              真空配置

              分子泵、羅茨泵、機械泵、插板閥

              占地面積

              2700×1200×3000mm3(含電源)

               


               

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