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            PRODUCT

            產品中心

            首頁 ? 產品中心 ? LED襯底及窗口片設備 ? 泡生法藍寶石晶體生長爐

            泡生法藍寶石晶體生長爐
            編號:SN20150801140932539
            類別:泡生法藍寶石晶體生長爐
            • 產品概述
            • 規格參數
            • 服務支持

              設備用途

              LED襯底,窗口材料,手機屏,軍工領域,智能設備,大規模集成電路SOI 和SOS等等。


              設備原理

              泡生法:在真空環境中,通過電阻加熱將三氧化二鋁原料熔化,通過籽晶引導,采用精密上稱重技術進行微量提拉生長優質光學級藍寶石單晶。

              產品特點:
              1、PLC全自動操作系統
              X2技術平臺,晶體生長過程(除引晶外)實現全自動化智能操作,生長條件可高度復制;能抗干擾自動調節功率,保證晶體穩定性,實現人機界面控制系統與工藝緊密結合。
              2、精密提拉旋轉機構
              專利設計,控制精度高,傳動平穩,抗干擾能力強,利于晶體生長。
              3、高穩定性熱場
              精確的溫度曲線控制,先進模擬軟件設計,保證原材料純度,熱變形小,使用壽命長。
              4、高效水冷系統
              先進的設計制造工藝,爐體冷卻效果好,震動小。
              5、PAC全自動操作程序
              觸摸屏操作,人機界面控制系統與工藝緊密結合,可遠程控制,信息存儲、分析、列表。

              產品優勢:
              1、縮短生長周期,比同類產品周期縮短2-3天。
              2、優異的晶體質量,達到光學等級以上。
              3、低能耗
              設備及熱場穩定性高,重復型號,損耗小,且設備能耗低于同類產品20%以上。
              4、高取材率
              成熟的設備制造技術和長晶工藝,確保晶體取材率≥70%。
              5、研發優勢
              規?;难邪l基地,及時進行技術驗證及創新,確保產品及技術的成熟性和前沿性。
              6、技術培訓
              擁有研發基地,可驗證長晶,為客戶提供專業技術培訓、設備操作和工藝指導。
              7、安全性高
              配置真空安全保護裝置,安全性能更高。


              高效的熱場模擬與設計


               

              大幅降低能耗


               

              80kg級長晶成本構成


               

              120kg級長晶成本構成

               

              技術指標: 

               

              TDR85K-II 

              TDR120K

              晶體生長周期

              18-20

              20-25

              晶體質量

              X射線雙晶搖擺半峰寬<10”;平均位錯密度為1×103/cm2

              晶體最大直徑

              300mm

              350mm

              設備能耗

              2萬度

              3萬度

              設備損耗

              主要部件使用壽命2年以上

              取材率(2吋)

              3200mm

              5800mm

              長晶成本

              ¥3.46萬元/

              ¥5.38萬元/

              晶棒成本(2吋)

              $1.77/mm

              $1.52/mm

               

              高取材率

              留言咨詢 (* 為必填項目)

              晶體規格

              80kg級(φmax300×H350mm 

              120kg級(φmax350×H400mm 

              4"晶棒

               

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